АО «НИИ НПО «ЛУЧ» (входит в «Росатом») разработает установку контроля ионного легирования для полупроводниковых пластин за 1,35 млрд рублей. Оборудование должно заменить американские системы KLA-Tencor, которые используются для контроля ключевого процесса внедрения примесей в чипы.
Контракт на ОКР шифр «Контроль-ИИ» был заключен 3 июля 2026 г. между Минпромторгом и АО «НИИ НПО «ЛУЧ». Сумма контракта составила 1,348 млрд руб. Изначально на работы выделялось 1,376 млрд руб., снижение составило около 27,5 млн руб. (примерно 2%).
В конкурсе участвовали три компании. Помимо победителя, заявки подали еще два участника с ценовыми предложениями 1,29 млрд и 1,376 млрд руб. Однако по итогам оценки заявок по неценовым критериям (опыт и квалификация) «НИИ НПО «ЛУЧ»набрал 77,6 балла из 100, что значительно превысило показатели конкурентов (28,2 и 4 балла).
Речь идет об ОКР «Контроль-ИИ» — создании автоматизированной установки контроля процесса ионного легирования в структурах полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630). Эти системы используются для контроля доз легирования — ключевого процесса внедрения примесей в полупроводниковые пластины для создания транзисторов и диодов.
Искусственный интеллект используется для автоматического распознавания топологического рисунка на продуктовых пластинах, построения калибровочных кривых и расчета уровня имплантационной дозы.
Критические комплектующие: оптический стол, источники лазерного излучения, фоточувствительные детекторы, механизмы загрузки и позиционирования должны быть российского производства. Работы по ОКР должны быть выполнены до октября 2029 г.