Промышленные ускорители — ускорители заряженных частиц, применяемые в промышленности. Наибольшее распространение получили небольшие линейные ускорители электронов, либо электростатические, либо импульсные, на энергию 0.1÷5 МэВ (электронно-лучевая обработка). Также широко используются электростатические ускорители ионов для легирования тонкого слоя полупроводников, для нужд микроэлектроники (ионная имплантация).

Развернуть Свернуть