Первый научный семинар Национального центра физики и математики (НЦФМ) пройдёт на кампусе МГУ Саров – образовательного ядра НЦФМ – в рамках Десятилетия науки и технологий в России. Учёные обсудят развитие технологии проекционной литографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (EUV), а также перспективы её реализации в стране 10 марта в 16:45.
Научный руководитель НЦФМ академик РАН Александр Сергеев выступит с докладом «О начале работы научного семинара НЦФМ». Заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николай Чхало представит доклад «EUV-литография: принципы, состояние и дорожная карта развития в России».
Николай Чхало представит в своем докладе краткий обзор истории развития технологии проекционной EUV-литографии в мире: расскажет о принципах построения EUV-литографа и месте, которая эта технология занимает в современной микроэлектронике. Значительная часть доклада будет посвящена разработанной в ИФМ РАН дорожной карте развития высокопроизводительной проекционной литографии в России до 2030 года.
На семинаре учёные смогут обсудить критические технологии, обладание которыми необходимо для создания современной литографической установки с рабочей длиной волны, лежащей в EUV-диапазоне, на примере литографа TWINSCAN NXE: 3600D от нидерландской компании ASML. В ходе семинара будут также рассмотрены имеющиеся в России экспериментальные заделы в области технологий EUV-литографии.
Научный семинар пройдёт очно в учебном блоке Филиала МГУ в Сарове по адресу: Нижегородская область, г. Саров, ул. Парковая, д. 8.
К участию в семинаре приглашаются все желающие.
Трансляция семинара будет доступна по ссылке https://vk.com/video-215983798_456239047.